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MEMS-MOS氣體傳感器介紹

2025-05-15 MEMS-MOS氣體傳感器的簡介一、基本原理MEMS-MOS氣體傳感器主要利用金屬氧化物半導體材料對特定氣體的敏感特性來檢測氣體。這些傳感器通常以單晶硅材料為基底，金屬氧化物組分為氣體敏感材料。當氣敏材料暴露于被測氣體中時，氣體會與材料發生反應，引起電導率或電阻率的變化，從而產生包含氣體成分和濃度的電信號。經過信號處理電路處理后，即可識別氣體的成分和濃度。二、技術特點1、微型化：MEMS器件體積小，一般單個MEMS傳感器的尺寸以毫米甚至微米為計量單位，重量輕、耗能低。同時微型...